晶瑞股份采购的ASML光刻机已进厂,用于研发ArF光刻胶,打造半导体材料综合研发平台

晶瑞股份采购的ASML光刻机已进厂,用于研发ArF光刻胶,打造半导体材料综合研发平台
2021年01月19日 23:53 格隆汇APP

格隆汇1月19日丨据中证报,今日晚,晶瑞股份公告称,经公司多方协商、积极运作,顺利购得ASML XT 1900 Gi型光刻机一台。晶瑞股份董秘陈万鹏称,“公司主要用来测试正在研发的ArF光刻胶,在这个领域我们国家还是空白,光刻机会很大程度加快公司的研发进程。同时公司未来准备以这台光刻机为核心设备,打造一个半导体材料的综合研发平台。”

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