5月14日，荷兰ASML公司与江苏无锡签约，扩大光刻机在无锡的服务基地。有些人以为是ASML要在无锡建厂，以后在这里生产光刻机，那么中国就可以轻松的购买ASML的光刻机了，那么中国半导体行业就腾飞了。而有些人则认为，ASML不卖光刻机给中国，到无锡建基地又为了什么？
对于这两种说法，都存在误解。
第一，此次ASML公司在无锡扩大的是设备技术服务基地，也就是说并不是无锡建厂生产光刻机，而是对ASML在中国售出的光刻机进行技术服务，毕竟光刻机造假不菲，不是复印机、传真机，卖了用户自己找个技术员就能维护，而是需要更专业的维护，同时技术服务也可以为ASML公司带来非硬件方面的盈利增长点。
第二，荷兰ASML阿斯麦不卖中国光刻机这个说法并不准确，光刻机有DUV和EUV两种，现在DUV光刻机是目前大量应用的光刻机，波长是193nm，光源是ArF（氟化氩）准分子激光器，但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限，所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极紫外光（EUV）光刻技术。ASML一直有DUV光刻机给中国，但是EUV光刻机没有卖，因为美国从中施压，中芯国际订了一台EUV迟迟未交付。
第三，中国其实也有自己的光刻机，只不过主要是中低端的光刻机，对于一般需求的芯片生产，其实是不成问题的。关键在于高端芯片，比如说华为要生产麒麟990就只能找台积电代工，因为他们有EUV光刻机。
第四，为什么EUV光刻机那么难造？ASML是EUV光刻机的系统集成商，这套设备集成了全球数百家公司的技术，拥有超过8000多个零部件，许多零件都是非常复杂的。ASML在研发EUV光刻机时，得到了Intel、三星及台积电等厂商的大力支持，再加上DUV业务利润的支撑，最终历经10年，才从EUV光刻机上赚到钱了。在产业链上，ASML的EUV光刻机80%部件并非自产，大部分的部件都来自于欧美各个国家，这些发达国家互通有无，将最先进的技术及材料卖给荷兰，才能促成EUV光刻机的诞生。
因此，对于光刻机问题需要有正确的认识，我国光刻机技术确实不够先进，其实欧美、台湾也不先进，都是用的荷兰ASML的光刻机，但荷兰又受制于美国的制约，对我国半导体行业构成了很大的影响，此次ASML来无锡扩建服务中心，希望能进一步加大与中国的合作，从长远来看，这是很好的事情。
