ASML计划2031年建成12英寸掩模版中试线 助力2033年先进制程就绪

ASML计划2031年建成12英寸掩模版中试线 助力2033年先进制程就绪
2026年09月08日 15:32 观点新媒体

观点网讯:9月8日,阿斯麦控股公司(ASML)表示,计划到2031年建成一条12英寸掩模版中试线,助力到2033年实现先进制程生产所需全套光刻系统就绪。

ASML称,向更大尺寸的12英寸掩模版过渡,预计将进一步提升晶圆厂生产效率、降低芯片制造成本,并消除拼接限制。

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