本文源自:金融界
金融界2024年5月10日消息，据国家知识产权局公告，台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“极紫外光辐射设备和用于产生极紫外光的坩锅“，授权公告号CN220933341U，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本实用新型为提高EUV发射的稳定性，在旋转的坩锅的内壁加上凸起和檐口，该旋转的坩锅通过使用雷射蒸发预热的金属(例如锡)来产生极紫外光。凸起和檐口可防止碎屑移动并控制液体金属流动，否则液体金属流动会随着坩锅旋转产生的离心力而随着时间分布。凸起和檐口通过将湍流的液体金属流改变为以层流为主的流动来稳定EUV发射。各种设计的锡收集器可用于收集和回收大部分的碎屑和未使用的液体金属。封闭的坩锅腔室设计缓解了加热不均匀的问题。
