晶盛机电取得晶向调整设备及磨削设备专利,解决晶棒晶向定位存在角度偏差的问题

晶盛机电取得晶向调整设备及磨削设备专利,解决晶棒晶向定位存在角度偏差的问题
2024年07月05日 20:40 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年7月5日消息,天眼查知识产权信息显示,浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“晶向调整装置及磨削设备“,授权公告号CN221271620U,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶向调整装置及磨削设备,属于晶硅加工技术领域,解决了现有技术晶棒晶向定位存在角度偏差的问题。本实用新型包括底座;第一晶向检测组件,第一晶向检测组件设置于所述底座上,用于检测晶棒端面的晶向位置;以及姿态调整组件,姿态调整组件包括:夹持机构,所述夹持机构设置于所述第一晶向检测组件的一侧,用于夹持晶棒;第一旋转机构,第一旋转机构作用于夹持机构,以使所述夹持机构在第一方向旋转;第二旋转机构,所述第二旋转机构作用于所述夹持机构,以使所述夹持机构在第二方向旋转。本实用新型通过第一晶向检测组件检测得到晶棒晶向偏斜角度,姿态调整组件可对晶棒的姿态进行调整,进而消除晶棒晶向的偏转角度。

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