本文源自:金融界
金融界 2024 年 8 月 14 日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种晶圆载台装置及具有该晶圆载台装置的曝光机“，公开号 CN202410677297.9，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本发明公开一种晶圆载台装置及具有该晶圆载台装置的曝光机，包括承载晶圆的载台，具有密封槽，所述密封槽将所述载台分成至少两个吸附区以吸附对应尺寸、且与所述载台同心的晶圆；上下直线运动的顶升机构，可真空吸附晶圆并输送晶圆至所述载台对应的吸附区；以及布置于所述载台下方以识别晶圆背面标记的背面对准机构。本发明能够适配多种规格尺寸的晶圆的吸附固定，同时可吸附较大程度翘曲变形的晶圆，保证了晶圆的平面度，进而确保光刻图案的准确。
