本文源自:金融界
金融界 2024 年 8 月 14 日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法“，公开号 CN202410699512.5，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法，包括触发模块，该触发模块用于感应门板金属产生触发信号；控制模块，该控制模块与触发模块连接，所述触发模块用于接收触发信号并输出平台急停信号；以及平台急停模块，该平台急停模块与控制模块连接，所述平台急停模块用于接收平台急停信号，使运动平台所有的运动部件失去使能；该用于直写式光刻机的安全防护系统及方法，与 PLC 软件联动，达到机台安全防护的最好效果，解决了现有技术缺少了对于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安全防护手段的问题及操作人员不容易得到报警信息，同时延长了排查问题时间的问题。
