北京北方华创真空技术取得在线式镀膜均匀性调整机构专利,结构简单紧凑

北京北方华创真空技术取得在线式镀膜均匀性调整机构专利,结构简单紧凑
2024年08月20日 19:10 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2024 年 8 月 20 日消息,天眼查知识产权信息显示,北京北方华创真空技术有限公司取得一项名为“一种在线式镀膜均匀性调整机构“,授权公告号 CN112575305B,申请日期为 2020 年 12 月。

专利摘要显示,本申请涉及一种在线式镀膜均匀性调整机构,属于镀膜设备领域,包括:调节组件,调节组件包括从外到内依次同轴设置的且能够相对旋转的若干个调节杆;若干个传动组件,传动组件的数量与调节杆的数量相同,若干个传动组件与若干个调节杆位于镀膜腔室内部的部分一一对应传动连接;挡板组件,与若干个传动组件传动连接,挡板组件包括若干个子挡板,子挡板的数量与传动组件的数量相同且一一对应,子挡板能够在调节杆和传动组件的带动下运动从而调节子挡板与设置于镀膜腔室内的固定挡板之间的开口范围。

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