有研硅取得一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法专利,达到使用红磷掺杂元素安全生产的目的

有研硅取得一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法专利,达到使用红磷掺杂元素安全生产的目的
2024年08月23日 07:15 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2024 年 8 月 23 日消息,天眼查知识产权信息显示,有研半导体硅材料股份公司取得一项名为“一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法“,授权公告号 CN116140302B,申请日期为 2022 年 12 月。

专利摘要显示,一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法,A、停炉取晶后二次氧化;B、调整吸尘器吸力;C、清理抽气管道:两位工作人员,其中一人为第一人,另外一人为第二人;将该炉体内热场保温部分抬出,露出该第一分管道、第二分管道、第三分管道和第四分管道的顶部开口,并使用金属堵头封堵;分别依次清理第一主管道、第一分管道、第一主管道、第二分管道、第一主管道、第二主管道、第三分管道、第二主管道、第四分管道、第二主管道。清理各个管道时,需要确认其他的管道端口处于关闭状态,只能打开当前需要清理的管道口进行清理。本发明可以避免在清理含有红磷元素的氧化硅粉尘挥发物时,发生爆燃、自燃等危险现象,从而达到使用红磷掺杂元素安全生产的目的。

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