本文源自:金融界
金融界 2024 年 8 月 28 日消息，天眼查知识产权信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种低温静电吸盘“，公开号 CN202410506269.0 ，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，本发明的一种低温静电吸盘，吸附基板上设有吸附电极层，吸附电极层上设有介电层，吸附电极层中设有六相吸附电极，以实现承载物被吸附在介电层上，介电层与承载物之间形成气密空间；吸附基板与冷却基座连接，吸附基板与冷却基座之间设有导电垫圈，吸附基板的圆周面设有导电环，导电垫圈分别与导电环和冷却基座导通，冷却基座连接地线，以导走吸附基板上无用或有害的电荷；冷却基座与外部设备连接，以实现吸盘安装固定；冷却基座中设有冷却组件和背气组件，当静电吸盘在常温或是超低温条件下使用时，冷却组件和背气组件将发挥不同的作用。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、温度均匀性高等特点，在低温使用时，降温速率高，还可兼容常温静电吸盘使用。
