本文源自:金融界
金融界 2024 年 8 月 28 日消息，天眼查知识产权信息显示，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种旋转靶材壁厚差的检测方法“，公开号 CN202410568834.6，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本发明提供一种旋转靶材壁厚差的检测方法，包括以下步骤：（1）在旋转靶材内部设置 1 个检测探头，并在旋转靶材外部设置至少 1 个检测探头，同时确保靶材内部检测探头与靶材外部检测探头之间的连线垂直于旋转靶材的溅射面；（2）记录靶材内外检测探头的相对距离、靶材内部检测探头对旋转靶材内表面的探测距离、靶材外部检测探头对旋转靶材外表面的探测距离，在数据处理器中计算得出旋转靶材壁厚差。本发明提供的检测方法采用测距仪替代了传统的测厚仪对旋转靶材壁厚差进行测量，克服了传统测厚仪在检测曲面厚度时容易产生偏差的缺陷，提升了检测精度与检测效率，降低了操作难度，有利于大规模推广应用。
