本文源自:金融界
金融界 2024 年 8 月 28 日消息，天眼查知识产权信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“运动台的移动控制方法、装置及运动台“，公开号 CN202310193272.7，申请日期为 2023 年 2 月。
专利摘要显示，本发明提供了一种运动台的移动控制方法、装置及运动台，涉及运动控制技术领域，该运动台的移动控制方法包括：在搭载目标对象的运动台按照预设运行轨迹移动的过程中，当检测到运动台到达预设运行轨迹上的跟随起点时，启动运动台的从动轴跟随主动轴运行功能，控制运动台的主动轴使运动台在预设运行轨迹上沿第一方向匀速移动；在运动台在预设运行轨迹上沿第一方向匀速移动时，周期性检测运动台在预设运行轨迹的第一方向上的当前位置；基于预设运行轨迹及当前位置向运动台的从动轴发送位置命令，以使运动台的从动轴跟随主动轴运动。本发明能够使运动台在预设运行轨迹的第一方向上匀速移动，提升了晶圆的激光退火效果，提升了运动台控制的可靠性。
