浙江奥首材料科技申请半导体硅片切割液及其制备方法与应用专利,半导体硅片切割液环保、无污染、且挥发损耗小

浙江奥首材料科技申请半导体硅片切割液及其制备方法与应用专利,半导体硅片切割液环保、无污染、且挥发损耗小
2024年09月12日 01:35 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2024 年 9 月 11 日消息,天眼查知识产权信息显示,浙江奥首材料科技有限公司申请一项名为“半导体硅片切割液及其制备方法与应用“,公开号 CN202410655897.5,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,本发明公开了半导体硅片切割液及其制备方法与应用,其中半导体硅片切割液,包括聚乙二醇、分散剂、表面活性剂、消泡剂和添加剂。本发明中半导体硅片切割液对半导体硅片切割工艺无特殊要求,无需特殊处理流程,将半导体硅片切割液与碳化硅混合即可,使用方便。本发明中半导体硅片切割液环保、无污染、且挥发损耗小,在切割完毕后,硅片仅用纯水冲洗即可,对环境和人体无伤害。

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