盾源聚芯取得硅加工擦拭装置及清洁吸盘吸附端面擦拭系统专利,使擦拭端面的洁净度达到一致。

盾源聚芯取得硅加工擦拭装置及清洁吸盘吸附端面擦拭系统专利,使擦拭端面的洁净度达到一致。
2024年09月12日 02:05 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2024 年 9 月 11 日消息,天眼查知识产权信息显示,宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司取得一项名为“硅加工擦拭装置及清洁吸盘吸附端面的擦拭系统“,授权公告号 CN115815181B,申请日期为 2022 年 12 月。

专利摘要显示,本发明公开一种硅加工擦拭装置,包括壳体、无尘布夹紧组件、无尘布按压组件、第一动力组件和第二动力组件,壳体的底部设置压力传感器,无尘布夹紧组件安装在壳体上通过第一动力组件驱动后将无尘布的第一端夹紧,无尘布按压组件安装在壳体上通过第二动力组件将无尘布压紧在擦拭目标处,通过无尘布夹紧组件将无尘布夹紧后再沿着擦拭目标面拉拽移动、以及无尘布按压组件将无尘布以合适的压力与擦拭目标面接触进行擦拭实现机械化,使得擦拭效率提高,在擦拭过程中通过压力传感器达到预设的压力和擦拭目标面接触,实现了对擦拭目标进行擦拭后使擦拭端面的洁净度达到一致的目的。本发明还公开一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统。

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