本文源自:金融界
金融界2024年9月17日消息，天眼查知识产权信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司,西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“研磨定盘维护装置及其维护方法“，公开号CN202410819464.9，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明涉及一种研磨定盘维护装置，研磨定盘包括研磨面，研磨面上设置有多个沟槽，在沟槽的宽度方向上，沟槽包括中间区域和位于中间区域的相对的两侧的边角区域；维护装置包括研磨定盘清洁结构，研磨定盘清洁结构包括第一清洁头、第二清洁头和第三清洁头，在第一方向上，第一清洁头和的第三清洁头位于第二清洁头的相对的两侧，第一清洁头和第三清洁头分别被配置为能够伸入沟槽，以清洁边角区域，第二清洁头被配置为能够伸入沟槽以清洁中间区域，在对沟槽进行清洁时，第一方向与沟槽的宽度方向相平行；移动控制单元，被配置为控制研磨定盘清洁结构在第二方向上移动，以清洁沟槽，第二方向与第一方向相垂直。本发明还涉及一种研磨定盘维护方法。
