本文源自:金融界
金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知识产权信息显示，青岛天仁微纳科技有限责任公司申请一项名为“一种高可控性纳米压印晶圆热处理监测方法“，公开号 CN202411135057.2，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种高可控性纳米压印晶圆热处理监测方法，属于热处理监测技术领域，包括以下步骤：S1、在模板的目标图形与纳米压印晶圆的热处理过程中，采集晶圆的实时温度；S2、生成晶圆的温度码；S3、确定热处理过程是否存在加工异常。本发明为实时监测的晶圆温度构建二维温度向量和三维温度向量，生成特定温度码，再结合整个时刻的温度中位数，确定热处理过程中是否存在温度异常；本发明可以显著提高纳米压印晶圆热处理过程的可控性和稳定性，提高了温度检测的灵敏度和准确性，避免出现加工失误。
