北京北方华创真空技术申请移动在线监测机构专利,能够对镀膜厚度进行连续性和实时性监测

北京北方华创真空技术申请移动在线监测机构专利,能够对镀膜厚度进行连续性和实时性监测
2024年09月19日 04:45 金融界网站

本文源自:金融界

金融界 2024 年 9 月 18 日消息,天眼查知识产权信息显示,北京北方华创真空技术有限公司申请一项名为“一种移动在线监测机构“,公开号 CN202410848389.9,申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示,本申请公开了一种移动在线监测机构,涉及薄膜测厚的技术领域,包括两条导轨、两组平行设置的丝杆和第一驱动组件,两条导轨相互平行且间隔放置,两根导轨之间的空间用于供薄膜通过;两组丝杆上均设置有滑块,每组丝杆各自与一条导轨一一对应,且均与导轨平行,滑块相对设置且相对的侧壁上均设置有测厚传感器,两个测厚传感器相对应且相互朝向彼此,两个测厚传感器之间留有间隙以供薄膜通过;第一驱动组件设置于导轨一端,用于驱使两组丝杆同步转动,丝杆用于驱动测厚传感器沿导轨长度方向往复移动。

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