本文源自:金融界
金融界2024年9月18日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统“，公开号CN202410869187.2，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开沉积成膜的异常检测方法、沉积成膜方法及沉积成膜系统，其中，异常检测方法在沉积成膜步骤之前实施，包括：向反应腔通入检测气体，检测气体被配置为能够被电离形成检测等离子体，检测等离子体被配置为不与基片以及载具发生反应；控制启动射频电源；获取射频电源的特征信息,射频电源与载具电连接形成供电电路；判断特征信息是否存在异常,特征信息包括供电电路的电信号信息；在特征信息存在异常时，输出异常报警信息，并结束检测。上述异常检测方法在沉积成膜步骤之前执行，一旦确认存在异常，不再执行沉积成膜步骤，可较好地规避沉积成膜步骤执行过程中被意外中断所造成的大量返工等问题，基本不会对后续沉积成膜步骤带来不利影响。
