本文源自:金融界
金融界 2024 年 9 月 18 日消息,天眼查知识产权信息显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请一项名为“抬升机构、测试平台及测试方法“,公开号 CN202411070987.4,申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示,本发明属于测试设备的技术领域,公开了一种抬升机构、测试平台及测试方法,其中抬升机构包括抬升组件、补偿组件、载物组件和控制中心,抬升组件包括转接板、多个丝杆驱动结构和多个位移传感器,补偿组件包括多个压电陶瓷,压电陶瓷能够上下伸缩调节,载物组件包括载物台、安装板和多个压力传感器,控制中心能够比较多个局部抬升高度的差异,并控制对应的压电陶瓷伸缩调整,以减少多个局部抬升高度之间的差异,控制中心能够计算多个局部压力的合力并将合力与基准范围比较,并控制多个压电陶瓷同步伸缩,以使合力位于基准范围内,进而,在载物台的平稳支撑下,使得半导体板以设定压力测试,满足测试要求。
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