本文源自:金融界
金融界2024年9月25日消息,国家知识产权局信息显示,盛青永致半导体设备(苏州)有限公司取得一项名为“一种半导体设备自动加药装置”的专利,授权公告号 CN 221753099 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种半导体设备自动加药装置,包括装置箱体,还包括:料泵,安装在装置箱体顶端;加药机构,连通在料泵底端,不仅可以将药加入到装置箱体内,而且,还能够对装置箱体内的药物进行混合处理,加药机构包括第一连接管。本申请通过旋转接头、齿轮和第一搅动杆的结合,不仅可以利用料泵将药物输入到旋转接头和连接管中,使药物进入到装置箱体内,而且,在药物进入完成后,能够经过齿轮旋转带动旋转接头和第一搅动杆旋转,从而经过第一搅动杆对药物进行混合处理,将混合机构与加药机构一体化设置。
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