本文源自:金融界
金融界2024年9月26日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“应用于立式炉的测温装置和立式炉”的专利，公开号CN 118687701 A，申请日期为2023年3月。
专利摘要显示，本发明提供了一种应用于立式炉的测温装置和立式炉，涉及晶圆的热处理技术领域，为解决热电偶在套管内的倾斜和不同心难以处理的问题而设计。应用于立式炉的测温装置包括热电偶，热电偶的顶端能够从立式炉的套管的底端插入套管内；安装部，用于承载热电偶；倾斜检测机构，与套管相对固定设置用于检测热电偶相对于套管的姿态；以及校正机构，安装于安装部，用于调整热电偶相对于套管的姿态。本发明提供的应用于立式炉的测温装置可以提高第一热电偶在套管内的平行度和同心度。
