本文源自:金融界
金融界2024年9月26日消息，国家知识产权局信息显示，中国电子科技集团公司第四十八研究所申请一项名为“一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法”的专利，公开号 CN 118689046 A，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法，包括步骤：S1、在扫描电镜模式下将指定特征点移动到扫描图像的中心并放大；S2、将电子束闸从“半关断”状态切换到“打开”状态，并检测扫描图像中指定特征点的相对位移；将相对位移与预设阈值进行对比，当相对位移大于预设阈值时，则调节电子束闸前的聚焦透镜直至相对位移在预设阈值内。本发明自动完成共轭消隐点的调节流程，提升了电子光学柱的调试效率，进而加快电子束曝光工艺的测试，保证电子束曝光机的高效运行。
