本文源自:金融界
金融界2024年9月28日消息，国家知识产权局信息显示，衢州纤纳新能源科技有限公司申请一项名为“一种真空蒸镀加料系统以及加料方法”的专利，公开号 CN 118703936 A，申请日期为2023年3月。
专利摘要显示，本发明涉及一种真空蒸镀加料系统以及加料方法，真空蒸镀加料系统包括纵向排列的准备舱室、沉积舱室和下位舱室，准备舱室包括准备舱蒸发源装置和准备舱滑轨装置，准备舱蒸发源装置包括可取放和移动的、内盛有蒸镀原料的备用坩埚，以及位于备用坩埚周围的备用坩埚加热装置，沉积舱室包括沉积舱蒸发源装置和沉积舱滑轨装置，沉积舱蒸发源装置包括可取放和移动的、内盛有蒸镀原料的蒸发坩埚，以及位于蒸发坩埚周围的蒸发坩埚加热装置，下位舱室包括下位舱滑轨，待真空蒸镀层基片在沉积舱室内横向运动且在蒸镀时停止于沉积舱蒸发源装置的正上方。本发明能够在几乎不影响产线生产节奏的前提下，对真空蒸镀设备进行换料操作。
