罗伯特·博世申请微机电压力传感器专利,能够均衡通过保护介质施加到测量膜片上的重力

罗伯特·博世申请微机电压力传感器专利,能够均衡通过保护介质施加到测量膜片上的重力
2024年09月30日 11:55 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年9月30日消息,国家知识产权局信息显示,罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微机电压力传感器”的专利,公开号CN 118706315 A,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本发明涉及一种微机电压力传感器(100),具有电容式压力传感器元件(101),电容式压力传感器元件包括基座结构(105)、测量腔(107)和至少一个杠杆结构(111),借助保护介质(103)覆盖基座结构,测量腔构造在基座结构中,测量腔具有测量膜片(109),杠杆结构布置在基座结构上,杠杆结构具有杠杆梁(115),杠杆梁以能翻转的方式悬挂在悬挂元件(113) 上,杠杆梁的第一端部(117)固定在测量膜片上,在杠杆梁的第二端部(119)上构造有均衡元件(121),通过杠杆结构的均衡元件能够均衡通过保护介质(103)施加到测量膜片(109)上的重力(F)。

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