华芯晶电申请种传动旋转移动式晶体生长高压炉专利,提高晶体生长质量、缩短生长周期

华芯晶电申请种传动旋转移动式晶体生长高压炉专利,提高晶体生长质量、缩短生长周期
2024年10月09日 09:01 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月9日消息,国家知识产权局信息显示,青岛华芯晶电科技有限公司申请一项名为“种传动旋转移动式晶体生长高压炉”的专利,公开号CN 118745592 A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明涉及晶体生长炉技术领域,特别涉及一种传动旋转移动式晶体生长高压炉,包括晶体生长炉,所述晶体生长炉内部底板上转动连接有基座,所述基座上固定有石墨坩埚, 所述石墨坩埚内固定有石英坩埚,所述晶体生长炉内壁上位于石墨坩埚的外侧设置有电加热板,所述晶体生长炉的底部设置有驱动机构,所述基座上设置有联动机构,且联动机构与电加热板传动连接。本发明提供的一种传动旋转移动式晶体生长高压炉,通过控制石英坩埚转动,提高其受热的均匀性,在控制石英坩埚转动的基础上,同步实现调节电加热板在石英坩埚上的位置,使电加热板辐射至坩埚上的热量更加的均匀,实现炉内温度的均匀分布,提高晶体生长质量、缩短生长周期。

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