本文源自:金融界
金融界2024年10月9日消息，国家知识产权局信息显示，深圳瑞纳电子技术发展有限公司申请一项名为“光电感应加速度传感器及其制造方法”的专利，公开号 CN 118746698 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明提供了一种光电感应惯性传感器及其制造方法，所述光电感应惯性传感器包括固定基体和惯性体，固定基体内具有封闭空腔，所述惯性体位于空腔内，与空腔具有间隙，惯性体通过弹性装置与固定基体连接，惯性体能够在空腔内沿X轴方向振动；惯性体的第一表面具有沿Y轴方向设置的光波导管；固定基体的和惯性体第一表面相对的第一内表面具有沿X轴方向设置的若干光电感应单元及光导装置，所述光导装置的出射光束沿Z轴方向入射到惯性体的光波导管；惯性体内的光波导管将入射光束沿光波导管的Y轴方向传输，并沿Z轴方向出射到光电感应单元；当惯性体沿X轴方向振动，至少有一部分光束入射光波导管，光波导管的出射光束被至少一个光电感应单元接收。
