本文源自:金融界
金融界2024年10月9日消息，国家知识产权局信息显示，上海亚曼光电科技有限公司取得一项名为“一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置”的专利，授权公告号 CN 221811879 U，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置，包括涂胶显影设备主体，所述涂胶显影设备主体上设有用于对晶圆进行输送的输送器，其特征在于，且所述涂胶显影设备主体的内部设有位于输送器两侧的多个条形的吸尘管，且所述吸尘管上设有多个吸尘孔，且所述涂胶显影设备主体内还设有用于与吸尘管进行连接的负压吸尘机构；本实用新型通过在涂胶显影设备主体的内部设有位于输送器两侧的多个条形的吸尘管，并通过负压吸尘机构与吸尘管连接，这吸尘管则对输送器所在空间进行吸尘，从而避免粉尘落入到输送器所述输送的晶圆上，从而起到防尘的作用。
