本文源自:金融界
金融界2024年10月19日消息，国家知识产权局信息显示，浙江求是半导体设备有限公司申请一项名为“晶片表面清理设备及抛光设备”的专利，公开号 CN 118752387 A，申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示，本发明提供一种驱动机构、晶片表面清理设备及抛光设备，驱动机构包括转料驱动件、输出轴、轮体支架和从动轮，输出轴连接于转料驱动件并能够转动，从动轮转动安装于轮体支架，输出轴及/或从动轮套设有可弹性形变的蓄水套，蓄水套在受压状态下释放液体。蓄水套能够在晶片边缘的压力作用下被加压从而排出具有定初速度的液体因此可以利用从蓄水套中排出的液体清洗晶片的外周边缘，更好地清除晶片表面的杂质及晶粒残留，提高了晶片的清洗质量；此外，蓄水套可以对晶片起到一定的缓冲减震作用，降低晶片受震荡冲击而损坏的概率，有利于提高晶片的良品率。
