宇泽新能源申请无氧坩埚制备方法及装置专利,能降低晶棒头氧含量提升品质

宇泽新能源申请无氧坩埚制备方法及装置专利,能降低晶棒头氧含量提升品质
2024年10月23日 11:00 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月23日消息,国家知识产权局信息显示,宇泽新能源(文山)有限公司申请一项名为“一种无氧坩埚的制备方法及制备装置”的专利,公开号CN 118791314 A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明属于坩埚制造技术领域,具体的说是一种无氧坩埚的制备方法及制备装置,所述制备方法包括以下步骤:采用化学气相沉积法在预备体内部进行沉积,得到含C‑C的SiC基体;再依次进行多次熏蒸和浸渍,得到致密化含C‑C的SiC基体;然后进行树脂浸渍固化工艺,得到无氧坩埚基体Ⅰ;之后重复操作上述步骤,得到无氧坩埚基体Ⅱ;将无氧坩埚基体Ⅱ放置在无氧坩埚基体Ⅰ中,再进行树脂浸渍固化工艺,得到无氧坩埚基体Ⅲ;最后进行打磨抛光,得到无氧坩埚制备得到的无氧坩埚能够有效的隔绝氧含量与硅液的接触,有效的降低晶棒的头氧含量,提升晶棒品质,避免了晶棒头部的裁切,并且使用无氧坩埚能够降低坩埚使用成本,延长运行时间,提高了收益。

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