本文源自:金融界
金融界2024年10月23日消息，国家知识产权局信息显示，光驰股份有限公司申请一项名为“蒸镀装置”的专利，公开号CN 118792617 A，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本发明提供一种蒸镀装置，能在增加基板保持器的基板搭载数量的同时提高蒸镀速度，能实现更高的生产率，并且能在确保膜厚的均匀性的同时实现成膜速度高的成膜处理。蒸镀装置具有：真空室，其内部能减压至规定的压力；一个圆形的基板保持器，旋转自如地设于真空室内；多个基板，保持于基板保持器的下表面；以及多个真空蒸镀源，喷出蒸镀材料的蒸气，基板保持器设为以基板的膜形成面朝向真空蒸镀源的喷出蒸镀材料的蒸气的方向的方式保持多个基板，基板保持器采用如下构成：以多个基板与真空蒸镀源的距离和角度相对于各个真空蒸镀源成为最佳的方式保持基板。
