阜阳市镓数氮化物产业研究院有限公司取得定制形状半导体晶片手动倒角装置专利,能提高倒角工艺质量和一致性并降低成本

阜阳市镓数氮化物产业研究院有限公司取得定制形状半导体晶片手动倒角装置专利,能提高倒角工艺质量和一致性并降低成本
2024年10月23日 14:10 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月23日消息,国家知识产权局信息显示,阜阳市镓数氮化物产业研究院有限公司取得一项名为“一种定制形状半导体晶片手动倒角装置”的专利,授权公告号CN 221849642 U,申请日期为2024年2月。

专利摘要显示,本实用新型属于半导体器件加工制造领域,公开了一种定制形状半导体晶片手动倒角装置,包括底板、齿条、导轨、滑块和磨盘,齿条与导轨平行间隔固定于底板上滑块滑设于导轨上,且滑块上设置带有样品托盘的多段式固定角度转动机构,齿条与多段式固定角度转动机构之间通过中间传动机构连接,且中间传动机构由第一轴杆、圆齿轮、输入伞齿轮组成,第一轴杆的两端分设有圆齿轮和输入伞齿轮,圆齿轮 与齿条啮合传动,输入伞齿轮与多段式固定角度转动机构上所设的输出伞齿轮啮合传动;磨盘设于底板上。本倒角装置具备小型化、低成本、角度可调、适用于多种形状晶片倒角操作等优势,可以提高倒角工艺的质量和一致性,降低成本。

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