本文源自:金融界
金融界2024年10月24日消息，国家知识产权局信息显示，安徽微迈思科技有限公司取得一项名为“一种线蒸镀机用蒸发源”的专利，授权公告号CN 221854745 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种线蒸镀机用蒸发源，包括底座、扩散盒、驱动器底座上安装有蒸发坩埚和密封罩以及顶盖，且蒸发坩埚位于密封罩内部，所述扩散盒连接在蒸发坩埚上端，所述扩散盒内部设有两个导流弧块，所述扩散盒上表面设有若干个喷嘴，所述喷嘴内部设有螺旋柱，且螺旋柱与喷嘴之间形成螺旋通道，所述驱动器安装在顶盖表面，所述驱动器下端安装有摆放板，所述摆放板位于喷嘴上方，通过喷嘴和螺旋柱来控制蒸镀气体到基板的距离，确保每个喷嘴喷出的蒸镀气体到基板的距离相同，从而使蒸镀气体喷到基板上的膜层是均匀的，确保每块基板的膜层误差更小，有利于提高良品率。
