本文源自:金融界
金融界2024年10月24日消息，国家知识产权局信息显示，深圳金美新材料科技有限公司取得一项名为“一种具有薄膜预降温功能的磁控溅射镀膜装置”的专利，授权公告号CN 221854752 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种具有薄膜预降温功能的磁控溅射镀膜装置，包括镀膜腔室，所述镀膜腔室内对应设有溅射靶座和冷却辊，薄膜绕过所述冷却辊并由所述溅射靶座和所述冷却辊之间穿过，其特征在于，所述冷却辊的前端设有冷气喷射组件，所述冷气喷射组件的喷气口对着所述冷气辊和薄膜的夹角，以使喷气方向顺着薄膜的运动方向。本实用新型通过增设冷气喷射组件向冷却辊与薄膜的夹角处喷入冷气，使得薄膜在运动的同时带动流动的气体向走膜方向运动，冷气对薄膜与冷却辊接触的一侧进行有效预冷，在接触冷却辊之前，薄膜降低一定的温度，在接触冷却辊后，可避免发生温度骤降而引起薄膜突然的收缩，从而解决了薄膜张力突然变大而导致膜面出现裂口的问题。
