广州粤升取得一种籽晶控温装置专利,能够有效提高籽晶的生产质量

广州粤升取得一种籽晶控温装置专利,能够有效提高籽晶的生产质量
2024年10月24日 14:15 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月24日消息,国家知识产权局信息显示,广州粤升半导体设备有限公司取得一项名为“一种籽晶控温装置”的专利,授权公告号 CN 221854852 U,申请日期为2024年1月。

专利摘要显示,本实用新型涉及籽晶控温技术领域,具体公开了一种籽晶控温装置,通过在控温腔内设有水循环降温系统,当需要对籽晶进行降温时,先将籽晶放于降温盆内,然后启动水循环降温系统,由水循环对籽晶进行热交换从而达到对籽晶进行散热降温的目的,并且在控温腔上还设有温度传感器,从而可以实时检测籽晶的温度变化,当籽晶温度降温至和室温差不多时即可将籽晶取出,避免籽晶从控温腔内取出后由于与室温存在温差而出现裂纹等情况,从而能够有效提高籽晶的生产质量。

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