郑州鬃晶取得籽晶粘贴设备专利,实现施压力度大小的调节

郑州鬃晶取得籽晶粘贴设备专利,实现施压力度大小的调节
2024年10月24日 14:15 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月24日消息,国家知识产权局信息显示,郑州鬃晶科技有限公司取得一项名为“一种籽晶粘贴设备”的专利,授权公告号CN 221854846 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种籽晶粘贴设备,涉及半导体生产设备技术领域,包括升降座、固定座和驱动件;所述驱动件、升降座和固定座从上向下间隔设置,升降座竖向移动、且升降座与固定座之间连接有若干弹簧;升降座上侧支撑籽晶和石墨盖,驱动件驱动石墨盖下移;固定座上侧设有若干高度可调节的支撑柱;本实用新型具有高度可调节的支撑柱,从而限制驱动件下压距离和弹簧压缩量,利用弹簧形变量不同实现施压力度大小的调节;并通过多个弹簧使各处压力均匀,使籽晶粘接均匀。

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