本文源自:金融界
金融界2024年10月24日消息，国家知识产权局信息显示，广州粤升半导体设备有限公司取得一项名为“一种提高籽晶轴稳定性的装置”的专利，授权公告号CN 221854843 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型涉及碳化硅生产技术领域，具体公开了一种提高籽晶轴稳定性的装置，包括石墨坩埚，石墨坩埚设有安装槽，安装槽内侧壁设有限位凹槽，安装槽内设有与之限位配合用于防止籽晶轴摆动幅度过大的限位圈，限位圈与籽晶轴限位配合，限位圈设有与之固定连接用于定位的定位凸块，定位凸块与限位凹槽卡位配合，通过在石墨坩埚上设有安装槽，并在安装槽内侧壁设有限位凹槽，在安装槽内设有与之限位配合的限位圈，通过使该限位圈与籽晶轴限位配合，这样能够有效保证籽晶轴在高速旋转时轴心偏转控制在一定范围内，保证其轴心能与温场对称轴重合，从而保证碳化硅晶体的生长质量。
