江苏昕感取得注入机气柜气路结构专利,避免气体流量计断电瞬间输出增大

江苏昕感取得注入机气柜气路结构专利,避免气体流量计断电瞬间输出增大
2024年10月25日 17:55 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月25日消息,国家知识产权局信息显示,江苏昕感科技有限责任公司取得一项名为“种注入机气柜气路结构”的专利,授权公告号CN 221861576 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型涉及注入机技术领域,尤其是一种注入机气柜气路结构,包括气源及与所述气源相连通的管道,所述管道的另一端与真空室连通,在所述管道上设置有气体流量计以及至少一个第一阀体,所述第一阀体设置于所述气体流量计沿气体输出方向的后端;还包括一电源组件,所述电源组件用于与所述气体流量计供电,以避免气体流量计断电瞬间输出增大,本实用新型中通过增加一个气动阀及气体流量计,当设备的源端发生打火后,吸极电压跳电,此时气体流量计因电源组件持续供电,因此气体流量计可进行稳定工作,使气路中不会瞬间产生大量气体,气体流量计后端气动阀由于设备跳电后及时关闭,使得气柜内气路气体被截止在气动阀前端。

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