本文源自:金融界
金融界2024年10月26日消息，国家知识产权局信息显示，珠海基石科技有限公司申请一项名为“丙烯酸酯类共聚物、图案化组合物、图案化薄膜图案化基底半导体器件及其制备方法”的专利，公开号 CN 118812772 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种丙烯酸酯类共聚物、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法，该丙烯酸酯类共聚物包括衍生自第一单体的第一结构单元、衍生自第二单体的第二结构单元，第一结构单元与第二结构单元的总摩尔占比为 30%-70%，第一结构单元与第二结构单元的摩尔比为（0.5-20）:1；第一单体包括式（1）所示的单体，Ra 为氢原子或甲基，R1、R2、R3、R4 中至少两者为烷基；第二单体包括式（2）所示的单体，Rc 为氢原子或甲基，R8、R9 以及 m 个 R10 中至多一者为烷基，m 为 1-5 的整数；式（1）、式（2）。该丙烯酸酯类共聚物用于图案化组合物可获得良好工艺窗口，有利于图案化工艺。
