本文源自:金融界
金融界 2024 年 10 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“一种光栅安装板结构及平面光栅测量系统”的专利，公开号 CN 118816962 A，申请日期为 2023 年 4 月。
专利摘要显示，本发明提供了一种光栅安装板结构及平面光栅测量系统，涉及半导体加工设备技术领域，为解决平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性无法得到有效保证的问题而设计。包括光栅安装板、随动调节装置和主动调节装置，随动调节装置包括安装于光栅安装板同一表面的柔性连接器、振动阻尼器和随动刚度阻尼器，柔性连接器用于支撑光栅安装板，振动阻尼器用于吸收光栅安装板的高频振动，随动刚度阻尼器用于吸收光栅安装板的中低频振动；主动调节装置用于获取光栅安装板的当前信号，并根据当前信号提供光栅安装板沿 X 向、沿 Y 向和沿 Z 向的主动位移调节，当前信号包括加速度信号和位移信号。本发明能够保证平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性。
