烁科中科信申请大束流离子注入机用束流监测和响应系统及其应用方法专利,具有检测全面等优点

烁科中科信申请大束流离子注入机用束流监测和响应系统及其应用方法专利,具有检测全面等优点
2024年10月29日 14:00 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年10月29日消息,国家知识产权局信息显示,北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“大束流离子注入机用束流监测和响应系统及其应用方法”的专利,公开号CN 118824824 A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明公开了一种大束流离子注入机用束流监测和响应系统及其应用方法,系统包括低压电源Glitch监测模块、高压电源Glitch监测模块、电机使能监测模块、剂量补充模块、束流中断模块和Glitch Test模块;低压电源Glitch监测模块用于监测低压电源是否发生Glitch;高压电源Glitch监测模块用于监测高压电源是否发生Glitch;电机使能监测模块用于监测电机是否掉使能;剂量补充模块用于补偿发生Glitch后的产品剂量缺失;束流中断模块用于发生Glitch后中断束流。本发明具有检测全面、智能化程度高、判定准确性高等优点。

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