本文源自:金融界
金融界 2024 年 10 月 29 日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“基于大气压力变化管控常压炉管程式的方法及系统”的专利，公开号 CN 118824902 A，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于大气压力变化管控常压炉管程式的方法及系统，属于半导体领域。该基于大气压力变化管控常压炉管程式的方法包括基于原始数据，获取不同季节对应的大气压力范围数据；基于大气压力范围数据，设定常压炉管生长栅极氧化层时，在不同季节的压力范围；获取大气压力的实时值，若大气压力的实时值超过设定的压力范围，则锁定栅极氧化层生长对应的工艺参数，重新调整工艺参数。本发明通过将低压炉管工艺测量的数据和 FDC 系统，应用于常压炉管生长栅极氧化层的工艺中，能够基于大气压力的变化，实时管控调整栅氧化层制造的工艺参数，避免在管控上存在滞后性，影响产品的栅极氧化层的膜厚。
