本文源自:金融界
金融界2024年10月29日消息，国家知识产权局信息显示，上海升翕光电科技有限公司取得一项名为“蒸镀材料供应设备及蒸镀装置”的专利，授权公告号 CN 221877151 U，申请日期为 2024年1月。
专利摘要显示，本申请涉及基板处理技术领域，尤其涉及一种蒸镀材料供应设备及蒸镀装置。该蒸镀材料供应设备包括：供应机构，包括底座、供给单元和导流管，供给单元活动安装于底座上，供给单元设置有多个容纳腔室；导流管的一端安装于底座上；避让机构，与供应机构连接，避让机构被配置为带动供应机构移动以使供应机构移动至避开蒸发源喷出蒸镀材料的路径的避让位置，或者由避让位置复位。当供应设备向蒸发源供应蒸镀材料后，避让机构带动供应机构移动至避开蒸发源喷出蒸镀材料的路径的避让位置，避免供应设备与点源喷射的蒸镀材料之间发生干扰，提高基板上薄膜的均匀性，提高供应设备的连续使用时间。
