本文源自:金融界
金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司申请一项名为“光掩模版传输轨道以及自动化传输系统”的专利，公开号CN 118833577 A，申请日期为2023年4月。
专利摘要显示，一种光掩模版传输轨道以及自动化传输系统，所述光掩模版传输轨道包括多个H型轨道单元；每个所述轨道单元包括：多个纵向轨道，沿所述第二方向延伸且相互平行设置；横向轨道，沿所述第一方向延伸且连接相邻的纵向轨道。通过轨道单元中的纵向轨道，能够与具有第二类承载模块的光刻设备相适配，以便设置于具有第二类承载模块的光刻设备上方；通过轨道单元中的横向轨道，能够与具有第一类承载模块的光刻设备相适配，以便设置于具有第一类承载模块的光刻设备上方，因此，通过本发明实施例的光掩模版传输轨道，能够提高光掩模版传输轨道与不同类型光刻设备之间的兼容性，从而满足多种光刻设备类型的设计需要，提升了半导体制造工厂的可调整弹性。
