本文源自:金融界
金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，江苏三米科思半导体设备有限公司取得一项名为“一种傅里叶滤波装置”的专利，授权公告号CN 221883976 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型属于半导体晶圆缺陷检测技术领域，具体涉及一种傅里叶滤波装置，包括：安装座部件、驱动装置、位移转化装置、限位装置和导向装置；所述驱动装置设置在所述安装座部件上；所述位移转化装置设置在所述安装座部件上，所述驱动装置与所述位移转化装置连接；所述导向装置设置在所述安装座部件上；所述限位装置设置在所述安装座部件上；所述驱动装置适于驱动所述位移转化装置移动，所述导向装置适于对所述位移转化装置进行导向所述限位装置适于对位移转化装置进行限位；实现了采用多升降杆结构形式的滤波装置，每根升降杆可以独立控制，根据衍射光斑位置及区域，可以快速组合进行遮挡，大大提高信噪比，从而提高采集检测的精度。
