本文源自:金融界
金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司取得一项名为“一种晶圆非接触式预加热装置”的专利，授权公告号CN 221885064 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆非接触式预加热装置，包括预加热腔室、预加热电源和预加热灯具；所述预加热电源和预加热灯具位于预加热腔室外部，所述预加热腔室上设有圆形石英窗，所述预加热灯具正对于所述石英窗；所述预加热电源与预加热灯具相连，用于给预加热灯具提供电源以加热产生热源，并透过石英窗辐射入预加热腔室内的晶圆表面，来实现对晶圆的非接触式加热。本实用新型的整体结构简单、操作便捷，加热速度快，解决了高温注入中晶圆传输前的预加热问题，能大大降低冷片接触热盘时带来的热膨胀和摩擦损伤。
