本文源自:金融界
金融界2024年11月2日消息，国家知识产权局信息显示，西安隆基乐叶光伏科技有限公司取得一项名为“一种臭氧微纳米气泡发生装置”的专利，授权公告号 CN 221933631 U，申请日期为 2024 年 2 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种臭氧微纳米气泡发生装置，涉及清洗技术领域，以解决现有技术中通常利用臭氧槽中的臭氧处理硅片，但是臭氧槽中臭氧的浓度较低，对硅片的清洗效果难以满足工艺需求，导致清洗后的硅片质量不符合要求的问题。所述臭氧微纳米气泡发生装置包括依次连通的臭氧发生器、微纳米气泡发生器、过滤件和收集容器。臭氧发生器用于制取臭氧，微纳米气泡发生器用于处理臭氧以形成臭氧微纳米气泡。微纳米气泡发生器具有进液口，进液口用于通入液体。臭氧微纳米气泡与液体在微纳米气泡发生器内混合形成气液混合物。过滤件用于过滤气液混合物中的气泡，气泡的尺寸大于臭氧微纳米气泡的尺寸，收集容器用于收集容纳过滤后的气液混合物。
