本文源自:金融界
金融界2024年11月2日消息，国家知识产权局信息显示，石家庄帕威半导体科技有限公司取得一项名为“一种水洗式半导体设备尾气处理装置”的专利，授权公告号 CN 221933561 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种水洗式半导体设备尾气处理装置，包括用于尾气排放的排气管，还包括可拆卸连接于排气管排气端一侧用于尾气检测的气体浓度检测仪，所述排气管表面可拆卸连接有用于气体浓度检测仪供电的太阳能板。通过设置的安装架、第一螺杆、固定板、第二螺栓和气体浓度检测仪配合使用，通过第二螺杆将气体浓度检测仪和固定板连接，通过第一螺杆将安装架卡接在排气管排气一侧，对排气管排出的尾气进行检测，便于实时对处理后排出的尾气进行检测，便于对尾气处理效果进行检测，继而保证尾气的处理效果。
