本文源自:金融界
金融界2024年11月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“排气装置和半导体加工设备”的专利，公开号 CN 118888482 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种排气装置和半导体加工设备，该装置包括：排气主体，排气主体中设置有排气通道，排气通道的进气口用于与被控压件的排气口连通，排气通道的出气口用于与厂务排气端连通；排气通道具有竖直通道段和位于竖直通道段底部的开口部；调节件，相对地位于竖直通道段中、且位于开口部的上方；以及连接限位组件，与调节件可相对升降的连接，且限制调节件距离开口部的最近位置，以使调节件在所受到的向上的气体压力大于自身重力时自最近位置上升，直至气体压力与重力达到平衡。本方案可以减小排气装置的尺寸，减少与厂务排气端的接口数量，并在切换不同的进气模式时实现被控压件的压力处于稳定状态。
