本文源自:金融界
金融界2024年11月4日消息,国家知识产权局信息显示,江苏新顺微电子股份有限公司申请一项名为“一种含电阻的多VDMOS器件集成电路结构及其制造方法”的专利,公开号CN 118888589 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种含电阻的多VDMOS器件集成电路结构,包括3个共漏极VDMOS,其中2个VDMOS共用一个栅极G1,第三VDMOS栅极G3与分压环上环形多晶电阻串联,其垂直方向的结构包括作为基片的第一导电类型浓掺衬底;在浓掺衬底上设置有第一导电类型的轻掺杂外延层;在外延层上为第二导电类型的分压环结构;在分压环结构上是终端氧化层,分压环结构中间则是与浓掺衬底掺杂类型相同的有源区AA窗口;在AA窗口上形成栅氧,淀积多晶硅,并进行第一导电类型掺杂、光刻及刻蚀形成垂直交叉的栅极,和所述环形多晶电阻。采用本发明,能够耐受500V以上电压且与栅极或源极串联接漏极的高压电阻,且电阻值可以通过对多晶电阻掺杂剂量调整,降低了电路封装成本,并可满足多个组件开关需求。
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