华为申请多层材料及其使用的研磨材料和应用专利,保证多层材料对基材的平坦化速率稳定

华为申请多层材料及其使用的研磨材料和应用专利,保证多层材料对基材的平坦化速率稳定
2024年11月05日 12:45 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月5日消息,国家知识产权局信息显示,华为技术有限公司申请一项名为“多层材料及其使用的研磨材料和应用”的专利,公开号CN 118893874 A,申请日期为2023年5月。

专利摘要显示,本申请实施例提供了一种多层材料及其使用的研磨材料和应用,该研磨材料为多孔聚氨酯弹性体,其在25℃与85℃下的拉伸弹性模量之比在1‑2的范围内,其在25‑85℃范围内的损耗因子均小于0.1。采用上述研磨材料可保证多层材料对基材的平坦化速率稳定、不易在基材表面产生划痕,且多层材料的使用寿命长。

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